用語解説

CVDとは化学反応による結合、PVDとは衝突エネルギーによる蒸着です。

CVDの特徴として、1000℃くらいの高温で処理を行う為
密着性が高いという特徴があります。
内部の深いところまで膜が生成します。
ところが、温度が高いので寸法変化・歪みが発生してしまうことがあります。

PVDの特徴としては、500℃程度の低温処理ですので、寸法変化や歪みが皆無です。
また徐膜や再処理が可能です。

PVDのコーティング処理の種類としては　TiN、TiCN、CrN、TiCN等があります。
エンジニアの方は用途に応じてCVDとPVDを選択されています。